japanese
yamamoto-ms co., ltd.
USE APPLICATION
A-52-ST-EL WAFER ELECTROLESS PLATING EQUIPMENT
  A-52-ST-EL 無電解めっき用シリコンウェハ回転装置
A-52-ST-EL  無電解めっき用シリコンウェハ回転装置
For conducting electroless plating on silicon wafers. Plating is possible from a single wafer to multiple wafers by vibrating the wafer(s) in vertical direction, while rotating them at the same time.
The rotating speed and the vertical vibration speed can be adjusted.
  シリコンウェハ上に無電解めっきを行う装置です。1枚〜複数枚のウェハを回転させながら上下に揺動させてめっきします。
回転速度と上下揺動速度はそれぞれ調節できます。


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