yamamoto-ms co., ltd.
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ヒーター・温度調節器
A-52-ST4-P10A/P10WJ/P10W ウェハ水槽用ヒーター
  A-52-ST4-P10A/P10WJ/P10W WAFER TANK HEATER
A-52-ST4-P10A/P10WJ/P10W ウェハ水槽用ヒーター
シリコンウェハ用水槽(A-52-ST-P01A)用ヒーターです。2inch,4inch水槽に適しています。 

A-52-ST4-P10WJ、A-52-ST4-P108Wは温度ヒューズ付です。
またA-52-ST4-P10Wは「B-98-YTC300 温度調節器YTC-300」と一緒にお使いください。

A-52-ST4-P10A/A-52-ST4-P10WJ/A-52-ST4-P10W
出力:AC100V100W/AC100V100W/DC48V100W
全長:310/240/240 mm
管径:9/11/11mm
発熱部:85/110/110mm
  There is a small heater for silicon wafer plating tank.
It is possible to use it for 2inch or 4inch type tank.

A-52-ST4-P10WJ is with a thermal fuse.
A-52-ST4-P10W is with a thermal fuse, for Thermostat YTC-300 use.

A-52-ST4-P10A/A-52-ST4-P10WJ/A-52-ST4-P10W
Output:AC100V100W/AC100V100W/DC48V100W
Length:160/163/163 mm
Pipe diameter:8/11/11mm
Heat-generating part:85/88/88mm