yamamoto-ms co., ltd.
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水槽
A-52-ST-P01A シリコンウェハ用水槽
  A-52-ST-P01A SILICON WAFER PLATING TANK
A-52-ST-P01A シリコンウェハ用水槽
2〜12inchシリコンウェハ用のめっきに適した水槽です。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造です。アクリル以外の材質でも製作いたしますので、お問合せください。

型 式 / 寸 法( 内 寸 ) / 水槽容量
2inch 100(L)×100(W)×100mm(H) 約1.5L
4inch 140(L)×140(W)×140mm(H) 約4.0L
5inch 160(L)×160(W)×160mm(H) 約7.5L
6inch 210(L)×210(W)×210mm(H) 約13L
8inch 280(L)×280(W)×280mm(H) 約28L
水槽材質 アクリル製
耐熱温度 65℃
  Tank for 2〜12 inch silicon wafer plating. Designed with overflow-mechanism. A gentle convection is generated from the base of the tank, while constant filtration is conducted. Please inquire if you require tanks made of materials other than acryl.

Model/Dimension: (Internal) /Tank Volume
2inch 100(L)×100(W)×100mm(H) Approx.1.5L
4inch 140(L)×140(W)×140mm(H) Approx.4.0L
5inch 160(L)×160(W)×160mm(H) Approx.7.5L
6inch 210(L)×210(W)×210mm(H) Approx.13L
8inch 280(L)×280(W)×280mm(H) Approx.28L
Tank Material : Acryl
Heatproof Temp.: 65℃