yamamoto-ms co., ltd.
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実験および少量生産装置
A-52 シリコンウェハ用めっき実験装置セット
  A-52 SILICON WAFER PLATING LABORATORY EQUIPMENT SET
A-52 シリコンウェハ用めっき実験装置セット
2〜12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。専用の治具を使用することで、半導体・MEMS・マイクロマシンの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。生産設備としてもご利用いただけます。
(国内外で特許数件取得済み、他数件出願中)

標準サイズは2〜12inchになりますが、 ご要望により、各種ご希望の装置を製作致します。(完全密閉型と非密閉型治具・水平式等があります)。 

*PCは別売りです
  Plating set for 2〜12 inch silicon wafers. By using dedicated jigs, precision plating of semiconductors, MEMS and micromachines is possible. The set is designed with overflow-mechanism, which generates a gentle convection from the base of the tank, while conducting constant filtration. Paddle agitators are used for actual agitation. The set can also be used as production facility. (PC is sold separately)
(Several patents acquired and pending in Japan and abroad.)

Applicable standard size is 2〜12inch, but we can accommodate your request to manufacture sets that meet various needs.
(Various types are such as fully sealed/non-sealed-type jigs, horizontal-type are available.)
*Please contact us for detail by e-mail.