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A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき装置
  A-52-ST-EL WAFER ELECTROLESS PLATING EQUIPMENT
A-52-ST-EL  ウェハ用無電解めっき装置
シリコンウェハ上に無電解めっきを行う装置です。1枚〜複数枚のウェハを回転させながら上下に揺動させてめっきします。
回転速度と上下揺動速度はそれぞれ調節できます。


*受注生産品
*詳細はお問い合わせ下さい
  For conducting electroless plating on silicon wafers. Plating is possible from a single wafer to multiple wafers by vibrating the wafer(s) in vertical direction, while rotating them at the same time.
The rotating speed and the vertical vibration speed can be adjusted.