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サンプル素材から選ぶ - ウェハ
A-52-ST-P02C 吸引式ウェハ用密閉型陰極カートリッジ
  A-52-ST-P02C WAFER SUCTION-TYPE SEALED CATHODE CARTRIDGE
A-52-ST-P02C  吸引式ウェハ用密閉型陰極カートリッジ
薄ウェハに対応した陰極カートリッジです。接点部やウェハの裏面に液まわりしません。
陽極酸化用の治具としても使えます。

標準サイズは2〜12inchとなりますが、ご要望により、各種ご希望の装置を製作致します。

*写真右は真空脱泡器(B-90-AVS-10)です。是非合わせてご使用下さい。

耐熱温度: 10〜85℃
  Cathode cartridge compatible with thin wafers.
The solution does not flow around the contact-section or the wafer’s rear side. Can be also used as an anodizing jig.


Applicable standard size is 2〜12inch, but we can accommodate your request to manufacture sets that meet various needs.
Heatproof Temp.: 10〜85℃