【海外技術パートナー】LAAS-CNRSフランス国立科学研究センターのご紹介
LAASとは
解析・システムアーキテクチャ研究所（LAAS）は、工学・システム科学研究所（INSIS）および情報科学・相互作用研究所（INS2I）と連携しているフランス国立科学研究センター（CNRS）の主要研究所のひとつです。フランストゥールーズにあるLAASは、トゥールーズ大学の6つの創設メンバー（T3PS、INSAT、INPT、UT2J、UT1C、ISAE）と連携しています。これは、CNRSの研究者と教員が密接に協力し、LAASが扱う様々な研究テーマをカバーしていることを意味します。
このプラットフォームは、マイクロ・ナノテクノロジー分野の7つの技術・研究施設（BTR）を集めたRENATECHと呼ばれるフランスの研究ネットワークの一翼を担っています。2007年4月、ミディ・ピレネー地域評議会、フランス国立科学研究センター（CNRS）、フランス国立研究機構（ANR）、LAASのBTRネットワークおよび提携クラブの資金援助により、LAAS-CNRS科学センターに1500 m2のクリーンルーム（グレード10.000および100）が建設されました。
これらの共同出資された設備により、エネルギー管理、電通信、化学、生物学のための新しいデバイスの設計、開発、統合から、フレキシブルチェーンに基づく実証機の製造までが可能になります。 研究所では毎年、70以上の内部プロジェクトと80以上の外部プロジェクト（学術および産業）を担当しています。
LAASで導入されている装置
山本鍍金試験器の装置は、LAASクリーンルーム（1500m2）の電気めっき分野専用エリアに設置されています。このエリアでは2名がフルタイムで働き、年間850枚以上のウェハーの電気めっき処理を行っています。また、浴分析、装置のメンテナンス、研究者への技術サポートも行っています。電解めっきエリアには、3台の山本鍍金試験器の装置に加え、4台の手動の機械と4台の工業用の機械があります。また、めっきの最高品質を保証するため、電気めっき浴の化学分析に特化したエリアもあります。
LAASでめっき可能な材料
A-52W シリコンウェハめっき実験装置セット
LAASでは厚さ0.5μmから500μmまでの様々な種類の材料へのめっきが可能です。
金：高周波MEMSおよびMEMS用
銅 : 受動素子、配線、3Dめっき、3D RDL
磁性合金：受動素子
ニッケル : ホットエンボス成形、機械部品
Aurolectroless：銅パッシベーション
