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製品情報 (ウェハ用陽極板)
ウェハ用陽極板
ウェハ用水槽に合わせたサイズの陽極板です。
陽極ホルダーと合わせてご使用ください。
サイズ
| ウェハサイズ | 陽極サイズ(mm) | 製品番号 |
| 2inch | 60ｘ170ｘt2 | A-52-ST2-P08 |
| 4inch | 106×200ｘt2 | A-52-ST4-P08 |
| 6inch | 160×275ｘt2 | A-52-ST6-P08 |
| 8inch | 200×350ｘt2 | A-52-ST8-P08 |
| マイクロセルⅠ | 59×95ｘt2 | A-53-M1-P08 |
| マイクロセルⅡ | 74×105ｘt2 | A-53-M2-P08 |
| マイクロセルⅢ | 94×140ｘt2 | A-53-M3-P08 |
| 10×15 | 28×120ｘt2 | A-53-M1-P81 |
| 30X30 | 44×145ｘt2 | A-53-M3-P81 |
材質
| 製品番号(*1) | 製品名 |
| A-52-ST□-P08-02 | 住友電解ニッケル |
| A-52-ST□-P08-07 | 住友ＳＫニッケル |
| A-52-ST□-P08-08 | 含燐銅 |
| A-52-ST□-P08-10 | 無酸素銅（電気銅） |
| A-52-ST□-P08-12 | 高純度錫（三菱電解錫） |
| A-52-ST□-P08-18 | チタン白金 |
| A-52-ST□-P08-28 | チタンイリジウム（硫酸銅用） |
| A-52-ST□P08-28-2 | チタンイリジウム（金・3価クロム他用） |
(*1) □にはウェハサイズが入ります。
(*2) 他の材質の陽極板も製作できます。お問い合わせください。
