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製品情報 (B-72WJ-SG ひずみゲージ式精密応力計)
B-72WJ-SG ひずみゲージ式精密応力計
基板のひずみをセンサーによって計測し、めっき内部応力をリアルタイムに測定します。
一度の測定で各めっき時間( 皮膜厚さ) での応力を測ることが可能です。また、一度めっきを施した膜上に再度めっきを行う際の応力測定もできます。従来の応力計では分からなかった、微細な応力を測定することができます。精密めっき電源YPPシリーズのスロットに、専用の応力計ボードを挿入して使用します。
特長
- JIS H8626 規格に準拠しています。
- 弱い応力でも測定可能です。フィルムやウェハ等の微弱な製品の測定に適しています。（膜厚0.5μm以上から精密測定可）
- 他の方式では測れない初期の応力も測ることが出来ます。
- 微細部品に適しています。
- センサーで得られたデータは電源に接続されたPCに即座に入力され、計算をしなくてもPC で自動的に応力値を算出します。また、測定中のデータは、パソコンを利用してリアルタイムで表示・蓄積されます。
電源及び応力測定ボード部の仕様
| 入力電圧 | AC100～200V±10％ （50/60Hz±5％） |
| 出力電圧／出力電流 | DC0～15V / 0～10A |
| 最小分解能 | 1mA / 10mV / 0.1mC |
| 温度調節機能 | 1KW （ON/OFF制御 / PID制御） |
| 本体重量 | 8.8KG |
| 対応OS | Windows8,10対応 |
セット内訳
| 製品番号 | 製品名 | 個数 |
| B-72-SG-P01W | ひずみゲージ式精密応力計用水槽 (MODEL-w) | １個 |
| B-72-SG-P02 | ひずみゲージ式精密応力計用治具ホルダー（アノードバック付） | １式 |
| B-72-SG-P03-1 | ひずみゲージ式精密応力計用試験片（銅）５枚入 | １式 |
| B-72-SG-P04 | ひずみゲージ式精密応力計試験片用保温管 | １本 |
| B-50-KTSG121513 | ステンレスＧタイプ止具(幅12㎜×15φ13） | １個 |
| B-72-SG-P06 | ひずみゲージ式精密応力計用陽極板セット （含燐銅、ニッケル、ＳＫニッケル、高純度錫（三菱電解錫）各１枚） | １組 |
| B-58WJB | ハルセル用ヒーター温度ヒューズ付WJB型（AC100Ｖ，100Ｗ） | 1本 |
| B-72-SG-P07 | ひずみゲージ式精密応力計用エアーパイプ | １本 |
| B-57A | ハルセル用エアーポンプA（AC100V) | １個 |
| B-62A | スターラー（固定台付）（マイクロバレル、スマートハルセル、スマートセル対応） | １式 |
| B-93-YTC-P04 | YTC,YPP用温度センサー（ショート）全長190mm | １本 |
| B-93-YTC-P02 | 温度調節器YTC用温度センサー止具(Ｌ型） | １個 |
| A-52-P18 | エアーフィルター | １個 |
| A-57-15100-1B | ひずみゲージ式精密応力計用ボード | １台 |
| A-57-15100WA-J | ｳｪﾊ用精密めっき電源 YPP15100WA-J（1mA～10A) | 1台 |
| A-57-15031WA-J | 超精密めっき用電源 YPP15031WA-J（10μA～3A) |
※セットになる電源によって製品番号末尾が異なります。
YPP15100WA電源付セット ：B-72WJ-SG-100W
YPP15031WA電源付セット ：B-72WJ-SG-031W
関連論文
めっき皮膜の応力測定法 表面技術 一般社団法人 表面技術協会 2007
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