PRODUCTS
製品情報 (シリコンウェハ用水槽(両面めっき用))
2 〜 8inch シリコンウェハ用の両面めっき用の水槽です。電極両側の2 面オーバーフロー構造です。
特注にて、3面や4面オーバーフローへの変更も可能です。
水槽・パドル・ろ過器がユニット化されているため、水槽のみでは販売できません。
仕様
| 製品番号 | ウェハサイズ | 寸法(内寸)mm | 水槽容量 | 材質 | 耐熱温度 |
| A-52-STD2-U | 2inch | D170×W100×H100 | 約3.5L | アクリル | 65℃ |
| A-52-STD4-U | 4inch | D240×W140×H140 | 約6L | アクリル | 65℃ |
| A-52-STD6-U | 6inch | D390×W210×H210 | 約29L | アクリル | 65℃ |
| A-52-STD8-U | 8inch | D530×W280×H280 | 約56L | アクリル | 65℃ |