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製品情報 (シリコンウェハ用水槽(両面めっき用))

シリコンウェハ用水槽(両面めっき用)

2 〜 8inch シリコンウェハ用の両面めっき用の水槽です。電極両側の2 面オーバーフロー構造です。
特注にて、3面や4面オーバーフローへの変更も可能です。
水槽・パドル・ろ過器がユニット化されているため、水槽のみでは販売できません。

仕様

製品番号ウェハサイズ寸法(内寸)mm水槽容量材質耐熱温度
A-52-STD2-U2inchD170×W100×H100約3.5Lアクリル65℃
A-52-STD4-U4inch D240×W140×H140約6Lアクリル65℃
A-52-STD6-U6inchD390×W210×H210約29Lアクリル65℃
A-52-STD8-U8inch D530×W280×H280約56Lアクリル65℃

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A-52-STD ウェハ用両面めっき装置

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