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A-52-STD ウェハ用両面めっき装置 (AC100V)

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製品情報 (A-52-STD ウェハ用両面めっき装置 (AC100V))

ウェハ

めっき装置

A-52-STD ウェハ用両面めっき装置 (AC100V)

TSV、TSGなどに適した両面めっき用装置です。

特長

ウェハ両面を1台のパドル撹拌装置にて撹拌します。パドルの角度を変えることで、表裏の撹拌条件を変えることも可能です。
サンプル対応サイズ：φ2～８inchまたは50～200mm角の角型
片面めっきも可能です。
CEマーキングにも対応します。

仕様・組み合わせ例

ウェハサイズ		2inch	3,4inch	5,6inch	8inch
ユニット (*1)
製品番号		A-52-STD2-U	A-52-STD4-U	A-52-STD6-U	A-52-STD8-U
品名		2inchシリコンウェハ用ユニット(両面めっき仕様)	4inchシリコンウェハ用ユニット(両面めっき仕様)	6inchシリコンウェハ用ユニット(両面めっき仕様)	8inchシリコンウェハ用ユニット(両面めっき仕様)
設置寸法		450(D)×650(W)×280(H)mm	480(D)×750(W)×310(H)mm	700(D)×950(W)×390(H)mm	1100(D)×1100(W)×480(H)mm
水槽	材質	アクリル
	耐熱温度	65°C
	内寸	100(D)×170(W)×100(H)mm	140(D)×240(W)×140(H)mm	210(D)×390(W)×210(H)mm	280(D)×530(W)×280(H)mm
	浴容量	3.5 L	6 L	29 L	56 L
ろ過器	ろ過精度	0.5 μm
ろ過器	目安流量	5 L/min	8L/min	12 L/min
パドル撹拌装置	回転数	0-130rpm
パドル撹拌装置	撹拌ストローク	50mm	96mm	150mm	150mm
以下　別売品
ヒーター		300W×2 (B-85WJ)	500W×2 (B-95-1A)	500W×4 (B-95-1A)	500W×4 (B-95-1A)
陰極カートリッジ	標準型	A-52-ST2-P02A	A-52-ST4-P02A	A-52-ST2-P06A/AN (*3)	A-52-ST8-P02A (*3)
	高電流型	N/A	A-52-STH4-P02	A-52-STH6-P02	A-52-STH8-P02
	密閉型	A-52-ST2-P02B	A-52-ST4-P02B	N/A	N/A
	吸引密閉型	N/A	N/A	A-52-ST6-P02C (*3)	A-52-ST8-P02C (*3)
陽極ホルダー (*4)		A-52-ST2-P09A×2	A-52-ST4-P09A×2	A-52-ST6-P09A×2	A-52-ST8-P09A×2
電源		A-57-15031WA / A-57-15100WA / A-57-15101D
温度調節器		B-93-YTC-1KLA / B-93C
エアーポンプ		A-63-M202 / B-92-M10-P04A / B-52-P18(エアーフィルター)

（*1）ユニット化されているため、水槽・ろ過器・パドルの単品販売はできません。
（*2）ヒーターの組み合わせは使用国やめっき条件により異なります。
（*3）オリフラ式/ノッチ式からお選びください。
（*4）不溶性陽極用には隔膜式もあります。