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シリコンウェハ用水槽（片面めっき用）

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製品情報 (シリコンウェハ用水槽（片面めっき用）)

ウェハ

水槽

シリコンウェハ用水槽（片面めっき用）

2～12inchシリコンウェハ用のめっきに適した水槽です。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造です。

片面めっき用のサイズで、アクリルとPP製の２種類ございます。両面めっき用はA-52-STD ウェハ用両面めっき装置をご覧ください。

仕様

製品番号	ウェハサイズ	寸法（内寸）mm	水槽容量	材質	耐熱温度
A-52-ST2-P01A	2inch	D100×W100×H100	約1.5L	アクリル	65℃
A-52-ST4-P01A	4inch	D140×W140×H140	約4.0L	アクリル	65℃
A-52-ST6-P01BW	6inch	D210×W210×H210	約13L	アクリル	65℃
A-52-ST8-P01BW	8inch	D280×W280×H280	約28L	アクリル	65℃
A-52-ST12-P01A	12inch	D230×W386×H420	約47L	アクリル	65℃
A-52-ST2-P01A-1	2inch	D100×W100×H100	約1.5L	PP	80℃
A-52-ST4-P01A-1	4inch	D140×W140×H140	約4.0L	PP	80℃
A-52-ST6-P01BW1	6inch	D210×W210×H210	約13L	PP	80℃
A-52-ST8-P01BW1	8inch	D280×W280×H280	約28L	PP	80℃
A-52-ST12-P01A1	12inch	D230×W386×H420	約47L	PP	80℃

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