シリコンウェハやガラス基板、セラミック基板、特殊素材、フィルム上などへ精密なめっきが行え、半導体やMEMS、LIGA、各種センサー、太陽光発電、航空宇宙産業、化学工業そして各種原材料等の研究および少量生産装置として数多く実績があります。

特長

• 水槽は常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造です。
• 従来より使用されている1面オーバーフロータイプと、高速撹拌が可能になった2面オーバーフロータイプがあります。直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。
• 生産設備としてもご利用いただけます。

基板素材

シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス、GaAs、InP等の素材の基板へもお使いいただけます。

特注製作について

標準装置をベースに、お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具へカスタマイズできます。
また、陽極酸化・アルマイト用治具などの装置の製作実績もございます。
治具の種類も、完全密閉型、非密閉型治具、水平式等がありますので、お問い合わせフォームよりぜひご相談ください。

セット内訳（日本国内向け一例）

A-52-ST□AWJYPPA　シリコンウェハ用めっき実験装置セットWJ型(YPP電源用)

＊ 製品番号の□印にはinch数が入ります。
（*1） オリフラ式/ノッチ式からお選びください。 密閉式/吸引密閉式もあります.
（*2） 不溶性陽極用には隔膜式もあります。陽極板は別売です。
（*）YPP電源用のセットです｡電源・温度調節器・陽極板は別売です。電源はA-57-15031WA, A-57-15100WA, A-57-15101Dから別途ご指定ください｡PCは別売です。

関連製品

＊受注生産品です。サイズや仕様はお手数ですがお問い合わせください。
＊めっきの種類やサイズによって、3面オーバーフロータイプをご提案することがあります。

製品動画

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ウェハ用めっき実験装置に関するよくあるご質問