PRODUCTS
製品情報 (ウェハ用陽極ホルダー)
ウェハ用陽極ホルダー
シリコンウェハ用の陽極ホルダーです。標準型および密閉型にはアノードバックが付属します。
可溶性陽極の場合は標準タイプ、不溶性陽極の場合は隔膜式をご使用ください。
アクリルは耐熱温度65℃までPPS 製は80℃までご使用いただけます。
特長
- 湿式のめっきを想定したシリコンウェハ用めっき実験装置専用の陽極治具です。
- 半導体・MEMS・陽極酸化など精密なめっきが行えます。
- 2～12inchサイズ実験用、少量生産用に最適です。
- 前面の陽極ホルダー押さえを付け替えることで、小さいサイズのウェハも兼用して使用できます。
種類
以下の3種類の陽極ホルダーがございます。使用する陰極カートリッジのタイプに合わせてお選びください。6inch以上はオリフラ式とノッチ式から形状をご指定ください。その他のサイズ
| タイプ | 標準型 | 密閉型 | 隔膜式 |
| 標準サイズ | 2~12inch | 2~12inch | 2~12inch |
| 材質 | アクリル | PPS | アクリル |
| 耐熱温度 | 65℃ | 80℃ | 65℃ |
| 用途 | ・標準型陰極カートリッジ用 ・可溶性陽極用 | ・密閉型陰極カートリッジ用 ・可溶性陽極用 | ・不溶性陽極用 |
注意事項
- オリフラ式とノッチ式の陰極カートリッジがございます。ご注文時にご指定ください。
- 特注にて両面めっき用治具、フレキ基板用治具も製作可能です。
