シリコンウェハのチップへのめっきや、バンプめっき等の基礎実験に最適なアクリル樹脂製の小型めっき実験装置セットです。
水槽底部にヒーターを組み込むことができ、加温やエアー撹拌も可能です。水槽容量はM1:300mL、M2:500mL、M3:1000mLの3種類があります。
10x15mmと30x30mmの試験片用のウェハチップ用治具他、ピンセット治具があります。
マイクロセル用陰極治具
(左：10x15mm用 右：30x30mm用)
A-53-WJ-T01セット（ピンセット治具）
セット内訳(ST01セット/T01セット)
ST01セット
| 製品番号 | 品名 | 水槽容量 |
| A-53-M1-ST01WJ | マイクロセル(Ⅰw)シリコンウェハ用YTC300WJ セット | 300ml |
| A-53-M2-ST01WJ | マイクロセル(Ⅱw)シリコンウェハ用YTC300WJ セット | 500ml |
| A-53-M3-ST01WJ | マイクロセル(Ⅲw)シリコンウェハ用YTC300WJ セット | 1000ml |
| 製品番号 | 製品名 | 個数 |
| 水槽 | A-53-M□-P01W-1 | M1/M2/M3 | マイクロセル水槽(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ w) | 1 |
| 治具 | A-53-M1-P06-1015 | | マイクロセル陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く | 1 |
| A-53-M□-P06-K1 | M1/M2/M3 | マイクロセル陰極治具用ブスバー(10×15mm試験片用) | 1 |
| A-53-M1-P071015 | | マイクロセル陽極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く | 1 |
| A-53-M□-P07-K1 | M1/M2/M3 | マイクロセル陽極治具用ブスバー(10×15mm試験片用) | 1 |
| ヒーター | A-53-M1-P05WB | (M1,M2用) | マイクロセルⅠw/Ⅱw 用ヒーター温度ヒューズ付WA型(DC48V,50W) | 1 |
| B-58WB | (M3用)
| ハルセル用ヒーター温度ヒューズ付WB型 (DC48V,100W) |
| 温度調節器 | B-93-YTC300-J | | 温度調節器YTC300(AC100-230V,300W)(*1) | 1 |
| B-93-YTC-P03 | | 温度調節器YTC用センサー止具(I型) | 1 |
| リード線 | A-57-15100-P01A | | YPP3、10A用リード線(チタン小･銅クリップ付各1本、チタンクリップ大1個付)(*1) | 1 |
| 揺動装置 | A-55-PCR200BWAE | | パドルカソードロッカー200BWA | 1 |
| B-75-P16A-J | | スピードコントローラーYMD5W12V(AC100V)(*2) | 1 |
| エアーポンプ | A-63-S101 | | エアーポンプS101(AC100V) | 1 |
(*1) YPPシリーズの電源をご購入の場合は温度調節機能/リード線が電源に付属します。
(*2) プログラマブル式スピードコントローラー(B-75-P14A)も使用可能です。
(＊)□には1,2,3のいずれかが入ります。(M1:300mL、M2:500mL、M3:1000mL)
別売品
別売品 (マイクロセル水槽(Ⅲ w)のみ対応)
| 治具 | A-53-M3-P06-3030 | マイクロセル陰極治具(30×30mm試験片用)ブスバーを除く | 1 |
| A-53-M3-P06-K1 | マイクロセル陽極治具(30×30mm試験片用)ブスバーを除く | 1 |
| A-53-M3-P07-3030 | マイクロセル陽極治具(30×30mm試験片用)ブスバーを除く | 1 |
| A-53-M3-P07-K2 | マイクロセル陽極治具用ブスバー(30×30mm試験片用) | 1 |
| 陽極板 | A-53-M3-P81-* | マイクロセル30×30mmウェハ用陽極板 | |
T01セット（ピンセット治具）
| 製品番号 | 品名 | 水槽容量 |
| A-53-M1-T01WJ | マイクロセル(Ⅰw)YTC300WJ セット | 300ml |
| A-53-M2-T01WJ | マイクロセル(Ⅱw)YTC300WJ セット | 500ml |
| A-53-M3-WJ-T01 | マイクロセル(Ⅲw)温調B-93C付 セット | 1000ml |
| 製品番号 | 製品名 | 個数 |
| 水槽 | A-53-M□-P01W-1 | M1/M2/M3 | マイクロセル水槽(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ w) | 1 |
| 治具 | A-53-M1-P2 | (M1用) | マイクロセル(Ⅰ)用ブスバー | 1 |
| A-53-M2-P2 | (M2,M3用) | マイクロセル(Ⅱ/Ⅲ)用ブスバー |
| A-53-M1-P3 | | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)ピンセット保持治具 | 1 |
| A-53-M1-P4 | | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)ピンセット | 1 |
| ヒーター | A-53-M1-P05WB | (M1,M2用) | マイクロセルⅠw/Ⅱw 用ヒーター温度ヒューズ付WA型(DC48V,50W) | 1 |
| B-58WJB | (M3用)
| ハルセル用ヒーター温度ヒューズ付WJB型 (AC100V,100W) |
| 温度調節器 | B-93-YTC-P03 | (M1,M2用) | 温度調節器YTC用センサー止具(I型) | 1 |
| B-93-YTC300-J | (M1,M2用) | 温度調節器YTC300(AC100-230V,300W)(*1) | 1 |
| B-93C | (M3用) | 1kWデジタル式温度調節器(*1) |
| リード線 | A-57-15100-P01A | | YPP3、10A用リード線(チタン小･銅クリップ付各1本、チタンクリップ大1個付)(*1) | 1 |
| エアーポンプ | A-63-S101 | | エアーポンプS101(AC100V) | 1 |
(*1) YPPシリーズの電源をご購入の場合は温度調節機能/リード線が電源に付属します。
(＊)□には1,2,3のいずれかが入ります。(M1:300mL、M2:500mL、M3:1000mL)
別売品
(＊)□には1,2,3のいずれかが入ります。(M1:300mL、M2:500mL、M3:1000mL)
![A-52-STS-U シリコンウェハ用めっき実験装置 [強撹拌タイプ] (AC100V)](https://www.yamamoto-ms.co.jp/wp-content/uploads/2026/05/A-52-STS-U.png)
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