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製品情報 (スマートセル® W型シリコンウェハ用組み合わせ例)
ポンプ類を使わずに、マグネチックスターラーを利用してオーバーフロー循環する画期的な水槽です。循環量も自在にコントロールでき、省スペース化にも最適です。シリコンウェハのチップへのめっきや、バンプめっきなどの基礎実験に最適です。ウェハチップ用治具が標準となります。
スマートセルの構造
スマートセルはマグネチックスターラー上に置き、撹拌子を回転させて使用します。下図のようにオーバーフロー循環をすることで、めっき液が蒸発してもめっきエリアの液面を一定に保つことができ、安定した電流分布やめっき面積の維持が可能です。
水槽容量は500mLと1000mLの2種類です。
500ｍL用は10ｘ15mmの治具、1000mL用は10ｘ15ｍｍと30ｘ30mm両方の治具が設置できます。
水槽容量や治具のサイズ変更は、特注にて承ります。
※ホットスターラーを使用したい場合は、ガラス製のスマートセル(A-56-0500G)をご利用ください。
※セットでの販売はございません。
スマートセル500W（水槽容量500mL）組み合わせ例
| 製品番号 | 製品名 | 個数 | |
| 水槽 | A-56-0500W | スマートセル 500w | 1 |
| 治具 | A-53-M1-P06-1015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く | 1 |
| A-53-M1-P07-1015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陽極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く | 1 | |
| A-56-0500W-P01 | スマートセル 500w用ブスバー(10×15mm試験片用) | 2 | |
| 陽極 | A-53-M1-P81 | 陽極板(標準サイズ:28×120ｘt2mm)※10×15mmウェハ用よりお選びください。 | 1 |
| ヒーター | A-53-M1-P05WB | マイクロセルⅠw/Ⅱw 用ヒーター温度ヒューズ付WB型(DC48V,50W) | 1 |
| 温度調節器 | B-93-YTC300(*1) | 温度調節器YTC300 | 1 |
| B-93-YTC-P02 | 温度調節器YTC用センサー止具(L型) | 1 | |
| 揺動装置 | A-55-PCR200BWAE | パドルカソードロッカー200BWA(コントローラーなし) | 1 |
| B-75-P16A(*1) | スピードコントローラーYMD5W12V | 1 | |
| スターラー | B-62-P01(*2) | スターラー(マイクロバレル/スマートハルセル対応) | 1 |
| B-62BW-P01 | スターラー台 | 1 | |
| リード線 | A-57-15100-P01A | YPP3,10A用ﾘｰﾄﾞ線(2本チタンクリップ付,銅クリップ1付) | 1 |
AC100V仕様：(*1)B-93-YTC300-J, B-75-P16A-Jを選択
AC120V仕様：(*1)B-93-YTC300-U, B-75-P16A-Uを選択, (*2)なし
AC220-240V仕様：(*1)B-93-YTC300-W, B-75-P16A-Wを選択, (*2)なし
(*) スピードコントローラーはB-75-P14Aシリーズも使用可能です
スマートセル1000W（水槽容量1000mL）組み合わせ例
| 製品番号 | 製品名 | 個数 | |
| 水槽 | A-56-1000W | スマートセル 1000w | 1 |
| 治具 (10X15mm試験片用) | A-53-M1-P06-1015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く | 1 |
| A-53-M1-P07-1015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陽極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く | 1 | |
| A-56-0500W-P01 | スマートセル 500w用ブスバー(10×15mm試験片用) | 2 | |
| A-53-M1-P81 | 陽極板(標準サイズ:28×120ｘt2mm)※10×15mmウェハ用よりお選びください。 | 1 | |
| 治具 (30X30mm試験片用) | A-53-M3-P06-3030 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く | 1 |
| A-53-M3-P07-3030 | マイクロセル(Ⅲ)陽極治具(30X30mm試験片用)ブスバーを除く | 1 | |
| A-56-1000W-P01 | スマートセル1000w用ブスバー(10×15,30×30mm試験片用) | 2 | |
| A-53-M3-P81 | 陽極板(標準サイズ:44×145ｘt2mm)※30×30mmウェハ用よりお選びください。 | 1 | |
| ヒーター・温度調節器(A)(*1) | A-58-WJB | ハルセル用ヒーター温度ヒューズ付WJB型(AC100V,100W) | 1 |
| B-93C | 1kWデジタル式温度調節器 | 1 | |
| B-93-YTC-P02 | 温度調節器YTC用センサー止具(L型) | 1 | |
| ヒーター・温度調節器(B)(*1) | A-58-WB | ハルセル用ヒーター温度ヒューズ付WB型(DC48V,100W) | 1 |
| B-93-YTC300(*2) | 温度調節器YTC300 | 1 | |
| B-93-YTC-P02 | 温度調節器YTC用センサー止具(L型) | 1 | |
| 揺動装置 | A-55-PCR200BWAE | パドルカソードロッカー200BWA(コントローラーなし) | 1 |
| B-75-P16A(*2) | スピードコントローラーYMD5W12V | 1 | |
| スターラー | B-62-P01(*3) | スターラー(マイクロバレル/スマートハルセル対応) | 1 |
| B-62BW-P01 | スターラー台 | 1 | |
| リード線 | A-57-15100-P01A | YPP3,10A用ﾘｰﾄﾞ線(2本チタンクリップ付,銅クリップ1付) | 1 |
AC100V仕様：(*1)ヒーター温度調節器(A), (*2)B-93-YTC300-J, B-75-P16A-Jを選択
AC120V仕様：(*1)ヒーター温度調節器(B), (*2)B-93-YTC300-U, B-75-P16A-Uを選択, (*3)なし
AC220-240V仕様：(*1)ヒーター温度調節器(B), (*2)B-93-YTC300-W, B-75-P16A-Wを選択, (*3)なし
(*) スピードコントローラーはB-75-P14Aシリーズも使用可能です
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