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製品情報 (A-52-STD ウェハ用両面めっき装置)
A-52-STD ウェハ用両面めっき装置
TSV、TSGなどに適したウェハ用両面めっき装置
特長
・φ2 ～８inch または50 ～ 200mm 角の角型サンプルにめっき可能です。
・ウェハ両面を1 台のパドル撹拌装置にて撹拌します。
・CE マーキングにも対応します。
本製品は特注品となります。お客様の仕様に合わせて製作いたします。
セット例
| カテゴリ | 製品名 | 個数 |
| 水槽 | ウェハ用両面めっき水槽 | 1 |
| 治具 | 両面めっき用陰極カートリッジ（標準タイプ/密閉型/吸引式密閉型） | 1 |
| 陽極ホルダー | 2 | |
| ヒーター | ヒーターAC100V/100,300,500W | |
| 電源 | ウェハ用精密めっき電源（YPP15031WA/15100WA） | 1 |
| エアーポンプ | エアーポンプ（M202/10L水槽用） | 1 |
| パドル撹拌装置 | 両面めっき用ﾊﾟﾄﾞﾙ撹拌装置（AC100V,100-120V,200-240V） | 1 |
| フィルター | ミニミニフィルター(20APFA/40APFA) | 1 |
| リード線 | 1 | |
| エアーフィルター | 1 |
