製品情報 (シリコンウェハ用陰極カートリッジ【標準型高電流タイプ】)

ウェハ

シリコンウェハ用陰極カートリッジ【標準型高電流タイプ】

2023新製品

受注生産

特長

・一般的な厚さのウェハに適しています。（200μm 以上）
・高速めっき等、通常よりも高めの電流密度設定が可能。
・全面めっきで全電流を大きくしたい場合に適しています。
・電極リングの接点（面接点）にもめっきが析出します。
・定期的に接点部めっき皮膜の剥離が必要です。
※ウェハサイズハ、JEITA およびSEMI 規格に合わせて製作しております。角型タイプも製作いたします。

仕様

対応ウェハサイズ	4～8inch
ウェハの厚み	200μm以上
めっき膜厚	20μm未満
耐熱温度	0〜65℃
材質	アクリル SUS304他

商品番号

A-52-STH2-P02	2inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様）
A-52-STH3-P02	3inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様/4inch水槽用）
A-52-STH4-P02	4inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様）
A-52-STH5-P02	5inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様/6inch水槽用）
A-52-STH6-P02	6inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流/オリフラ仕様）
A-52-STH6-P02N	6inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流/ノッチ仕様）
A-52-STH8-P02	8inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様）