,

パドル撹拌装置（A-52-ST-P04D）

サンプルの近傍を撹拌する装置で、2～8inchサイズの片面めっきに対応しています。片面めっき用と両面めっき用の2 種類があります。
12inch 用は受注生産にて製作いたします。また、オプションとして、筐体を保護するPVC 板を取り付けることができます。

特長

  • めっきの析出均一性が向上
    パドルによりサンプル表面を効果的に撹拌します。拡散層が安定化によりめっきの析出均一性が向上がします。
  • 穴形状のサンプルにも積極的にイオンを供給
    ビア、スルーホールやトレンチのような穴形状のサンプルでは、撹拌による穴内部への積極的なイオン供給で濃度過電圧上昇を抑え、ボイド等欠陥のない良好な埋め込みが期待されます。
  • 国際規格に適合
    IEC61010-1に適合しており、EU・DUタイプとEW・DWタイプはCEマーキングを実施しておりEN61326-1にも適合しています。

仕様

サイズ2inchタイプ3,4inchタイプ5,6inchタイプ8inchタイプ
製品番号A-52-ST2-P04EA-52-ST4-P04DA-52-ST6-P04DA-52-ST8-P04D
水平ストローク30～50mm (*1)30～96mm30～150mm
外寸（設置寸法）210 (D)×180 (W)×275 (H) mm210 (D)×180 (W)×290 (H) mm290 (D)×270 (W)×380 (H) mm290 (D)×270 (W)×470 (H) mm
本体重量(*2)E : 6.0kg
EU, EW:6.5kg		D : 6.0kg
DU, DW:6.5kg		D:12.9kg
DU,DW:13.4kg		D:13.4kg
DU,DW:13.9kg
回転数0～130 RPM
入力電圧(*2)E: AC100-120V
EU: AC100-120V
EW: AC200-240V		D: AC100-120V /
DU: AC100-120V /
DW: AC200-240V
定格出力30W

（*1） 部品追加により最大96mm
（*2） 入力電圧の違いにより、E・Dタイプ、EU・DUタイプ、EW・DWタイプの3種類あります。

関連記事

めっきにおける揺動装置の役割

関連商品

  1. スマートセル® W型シリコンウェハ用組み合わせ例

    シリコンウェハのチップやバンプめっきなどの基礎実験に最適なめっき水槽のセットです。オーバーフロー循環を利用し安定した電流分布を実現。

  2. ,

    A-57-15031WA　超精密めっき用電源 YPP15031WA

    予測・計算機能が付いた高性能なプログラマブル電源です。最小分解能10μAで日本語、英語、中国語に対応しています。

  3. ウェハ用陽極ホルダー

  4. A-53-ST01WB マイクロセル W 型シリコンウェハ用セットYTC300

  5. ,

    A-57-15100WA　ウェハ用精密めっき用電源 YPP15100WA

    予測・計算機能が付いた高性能なプログラマブル電源です。最小分解能1mA で、日本語、英語、中国語に対応しています。

  6. ,

    水平式ウェハめっき装置

製品カテゴリ

  1. ハルセル
    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等

  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計

  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード

  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター

  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用

  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール

  7. 小型めっき装置
    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット

  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ

  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ

  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー

  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります

  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器

  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー

  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等

  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
ページ上部へ戻る