技術情報

ろ過器

めっきにおいて、ろ過は不純物の除去だけではなく、めっき液の循環や撹拌などさまざまな役割を担っています。当社では小型めっき装置に合わせて開発された、小ボリュームのめっき液用の精密ろ過装置をご用意しています。

ろ過装置の重要性

ろ過装置を通すことで、アノードスライム(陽極から溶出する不純物)や埃、その他金属ゴミ、固形不純物を除去し、めっき不良の発生防止に繋がります。

機能

• アノードスライムや埃、金属ゴミ、固形不純物の除去ができます。
• めっき液を循環・撹拌する効果もあります。
• 活性炭フィルターを装着することにより、有機不純物の除去が期待できます。 (受注生産モデル)

用途

• ウェハ上やバレルめっきなどの精密めっきのろ過・撹拌
• 陽極酸化の撹拌

ラインナップ

山本鍍金試験器の卓上サイズのめっき装置に合わせて開発された、小型の精密ろ過装置である「ミニミニフィルター」シリーズ、耐熱温度95℃までで無電解めっきや陽極酸化に使用できる「マルチフィルター」をご用意しています。


ミニミニフィルター仕様比較表

精密ろ過装置、ミニミニフィルターシリーズの一覧です。

製品番号製品名材質(接液部)流量耐熱温度附属カートリッジ入力
B-90-A05-APFA10てのりフィルター05APF型(PPタイプ)PP, PVC or PTFE *1Max. 0.6L/minPVC Tube: 50°C
PTFE Tube : 80°C
1μm ×1 (62.5L)AC100V~240V
B-90-A05-APFA10ミニミニフィルター06APF型(PPタイプ)PP (PTFE)Max 2.0L/min80°C0.5μm ×1(43L)AC100V
B-90-A06-APFWミニミニフィルター06APFW型(PPタイプ)PP (PTFE)Max 2.0L/min80°C0.5μm ×1(43L)AC220~240V
B-90-A10-M1B30ミニミニフィルター10B型アクリル (PP),フッ素ゴム *1Max. 3.4L/min65°C3μm ×1(62.5L)AC100V
B-90-A10-APFB10ミニミニフィルター10APFB型PP (PTFE)Max. 2.5L/min80°C1μm ×1(62.5L)AC100V
B-90-A20-APFA05ミニミニフィルター20APFA型PP (PTFE)Max. 4.8L/min80°C0.5μm ×1(62.5L)AC100V
B-90-A20-APFU05(AC100-120 Type)ミニミニフィルター20APFU型PP (PTFE)Max. 4.8L/min80°C0.5μm ×1(62.5L)AC100~115V
B-90-A20-APFU05ミニミニフィルター20APW型PP (PTFE)Max. 4.8L/min80°C0.5μm ×1(62.5L)AC220〜240V
B-90-A30-FKAuミニミニフィルター30FK型(金めっき用)PP (ETFE)Max. 3.5L/min80°C0.5μm ×1(62.5L)AC100V
B-90-i30-Auミニミニフィルターi30-Au型(金めっき用)PP (PTFE)Max. 7.0L/min70°C0.5μm ×1(62.5L)AC100V~240V
B-90-A40APFWJ05ミニミニフィルター40APFWJ型PP (PTFE)Max. 7.4L/min80°C0.5μm ×1(62.5L)AC100V
B-90-A40APFW05ミニミニフィルター40APFW型PP (PTFE)Max. 7.4L/min80°C0.5μm ×1(62.5L)〜AC100 240V
B-90-A40APFU05ミニミニフィルター40APFU05型PP (PTFE)Max. 7.4L/min80°C0.5μm ×1(62.5L)AC115V
B-90-A25-SELNIミニミニフィルター25S型無電解ニッケル用PP(SUS316)Max. 2.0L/min80°C3μm〜AC100 240V

(*1)チューブの材質です。

ミニミニフィルター性能比較表

4Lの純水で経過時間による微粒子の残数を実測した結果です。

製品番号カートリッジろ過時間微粒子の個数
(0.5μm以上)
微粒子の個数
(1.0μm以上)
流量
B-90-A20-APFA050.5μmStart73000100.00%9300100.00%4.8L/min
15min.3640.50%60.06%
30min.3640.50%5
0.05%
45min.1470.20%1
0.01%
B-90-A10-APFB1010.μmStart73000100.00%9300100.00%2.5L/min
15min.1287117.63%440.47%
30min.43095.90%130.14%
45min.30474.17%5
0.05%
B-90-A10-M1B303.0μmStart--9300100.00%3.4L/min
15min.--1571.69%
30min.--710.76%
45min.--560.60%

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