ウェハ用めっき装置
スマートセル® W型シリコンウェハ用組み合わせ例
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スマートセルの水槽と用治具、ヒーター、スターラーの組み合わせ例です。
シリコンウェハのチップへのめっきや、バンプめっきなどの基礎実験に最適です。
スマートセルの構造
スマートセルはマグネチックスターラー上に置き、撹拌子を回転させて使用します。下図のようにオーバーフロー循環をすることで、めっき液が蒸発してもめっきエリアの液面を一定に保つことができ、安定した電流分布やめっき面積の維持が可能です。
組み合わせ例
水槽容量は500mLと1000mLの2種類です。
500ｍL用は10ｘ15mmの治具、1000mL用は10ｘ15ｍｍと30ｘ30mm両方の治具が設置できます。
水槽容量や治具のサイズ変更は、特注にて承ります。
※ホットスターラーを使用したい場合は、ガラス製のスマートセル(A-56-0500G)をご利用ください。
※セットでの販売はございません。
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1.水槽(500mL/1000mL) |
2.陰極治具(10x15mm/30x30mm用) |
3.陽極治具(10x15mm/30x30mm用) |
4.ヒーター |
5.温度調節器
|
6.パドルカソードロッカー |
スマートセル500W（水槽容量500mL）
| 製品番号 | 製品名 |
| A-56-0500W | スマートセル 500w |
| A-53-M1-P05WJB | マイクロセルⅠw/Ⅱw 用ヒーター温度ヒューズ付WJB型(AC100V,50W) |
| B-93C | 1kWデジタル式温度調節器 |
| B-93-YTC-P02 | 温度調節器YTC用センサー止具(L型) |
| A-55-PCR200BWA1 | パドルカソードロッカー200BWA(B-75-P16Aコントローラー付) |
| B-62BW-P01 | スターラー台 |
| B-62-P01 | スターラー(マイクロバレル/スマートハルセル対応) |
| A-53-M1-P061015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く |
| A-53-M1-P071015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陽極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く |
| A-56-0500W-P01 | スマートセル 500w用ブスバー(10×15mm試験片用) |
| A-57-15100-P01A | YPP3,10A用ﾘｰﾄﾞ線(2本チタンクリップ付,銅クリップ1付) |
| A-53-M1-P08 |
陽極板・アノードバッグ(標準サイズ:59×95×t2mm) |
スマートセル1000W（水槽容量1000mL）
| 製品番号 | 製品名 |
| A-56-1000W | スマートセル 1000w |
| B-58WJB | ハルセル用ヒーター温度ヒューズ付WJB型(AC100V,100W) |
| B-93C | 1kWデジタル式温度調節器 |
| B-50-KTSG121207 | ステンレスGタイプ止具(幅12㎜×12 φ7) |
| B-93-YTC-P02 | 温度調節器YTC用センサー止具(L型) |
| A-55-PCR200BWA1 | パドルカソードロッカー200BWA(B-75-P16Aコントローラー付) |
| B-62BW-P01 | スターラー台 |
| B-62-P01 | スターラー(マイクロバレル/スマートハルセル対応) |
| A-53-M1-P061015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く |
| A-53-M1-P071015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陽極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く |
| A-53-M3-P063030 | マイクロセル(Ⅲ)陰極治具(30X30mm試験片用)ブスバーを除く |
| A-53-M3-P073030 | マイクロセル(Ⅲ)陽極治具(30X30mm試験片用)ブスバーを除く |
| A-56-1000W-P01 | スマートセル1000w用ブスバー(10×15,30×30mm試験片用) |
| A-57-15100-P01A | YPP3,10A用リード線(2本チタンクリップ付,銅クリップ1付) |
| A-53-M2-P08 | 陽極板・アノードバッグ(標準サイズ:74×105×t2mm) マイクロセルMODELⅡよりお選び下さい｡ |
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