スマートセル® W型シリコンウェハ用組み合わせ例

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スマートセルの水槽と用治具、ヒーター、スターラーの組み合わせ例です。
シリコンウェハのチップへのめっきや、バンプめっきなどの基礎実験に最適です。

スマートセルの構造

スマートセルはマグネチックスターラー上に置き、撹拌子を回転させて使用します。下図のようにオーバーフロー循環をすることで、めっき液が蒸発してもめっきエリアの液面を一定に保つことができ、安定した電流分布やめっき面積の維持が可能です。

組み合わせ例

水槽容量は500mLと1000mLの2種類です。
500mL用は10x15mmの治具、1000mL用は10x15mmと30x30mm両方の治具が設置できます。
水槽容量や治具のサイズ変更は、特注にて承ります。
※ホットスターラーを使用したい場合は、ガラス製のスマートセル(A-56-0500G)をご利用ください。
※セットでの販売はございません。

1.水槽(500mL/1000mL)

2.陰極治具(10x15mm/30x30mm用)

3.陽極治具(10x15mm/30x30mm用)
4.ヒーター

5.温度調節器
B-93-YTC300 温度調節器YTC300

 

6.パドルカソードロッカー

スマートセル500W(水槽容量500mL)

製品番号 製品名
A-56-0500W スマートセル 500w
A-53-M1-P05WJB マイクロセルⅠw/Ⅱw 用ヒーター温度ヒューズ付WJB型(AC100V,50W)
B-93C 1kWデジタル式温度調節器 
B-93-YTC-P02 温度調節器YTC用センサー止具(L型) 
A-55-PCR200BWA1 パドルカソードロッカー200BWA(B-75-P16Aコントローラー付) 
B-62BW-P01 スターラー台
B-62-P01 スターラー(マイクロバレル/スマートハルセル対応)
A-53-M1-P061015 マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く
A-53-M1-P071015 マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陽極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く
A-56-0500W-P01 スマートセル 500w用ブスバー(10×15mm試験片用)
A-57-15100-P01A YPP3,10A用リード線(2本チタンクリップ付,銅クリップ1付)
A-53-M1-P08

陽極板・アノードバッグ(標準サイズ:59×95×t2mm)
マイクロセルMODEL Ⅰよりお選びください。

スマートセル1000W(水槽容量1000mL)

製品番号 製品名
A-56-1000W スマートセル 1000w
B-58WJB ハルセル用ヒーター温度ヒューズ付WJB型(AC100V,100W)
B-93C 1kWデジタル式温度調節器
B-50-KTSG121207 ステンレスGタイプ止具(幅12㎜×12 φ7)
B-93-YTC-P02 温度調節器YTC用センサー止具(L型)
A-55-PCR200BWA1 パドルカソードロッカー200BWA(B-75-P16Aコントローラー付) 
B-62BW-P01 スターラー台
B-62-P01 スターラー(マイクロバレル/スマートハルセル対応)
A-53-M1-P061015 マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く
A-53-M1-P071015 マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陽極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く
A-53-M3-P063030 マイクロセル(Ⅲ)陰極治具(30X30mm試験片用)ブスバーを除く
A-53-M3-P073030 マイクロセル(Ⅲ)陽極治具(30X30mm試験片用)ブスバーを除く
A-56-1000W-P01 スマートセル1000w用ブスバー(10×15,30×30mm試験片用)
A-57-15100-P01A YPP3,10A用リード線(2本チタンクリップ付,銅クリップ1付)
A-53-M2-P08 陽極板・アノードバッグ(標準サイズ:74×105×t2mm)
マイクロセルMODELⅡよりお選び下さい。

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