A-52 シリコンウェハ用めっき実験装置セット

2~12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。
専用の治具を使用することで、半導体・MEMSの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、1面オーバーフロータイプと、高速撹拌が可能になった2面オーバーフロータイプがあります。直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。

生産設備としてもご利用いただけます。
また、国内外で特許数件取得済み、他数件出願中です。*PCは別売りです

基板素材

シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス、GaAs、InP等の素材の基板へもお使いいただけます。

特注製作について

標準装置をベースに、お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具へカスタマイズできます。また、陽極酸化・アルマイト用治具などの装置の製作実績もございます。治具の種類も、完全密閉型、非密閉型治具、水平式等がありますので、ぜひご相談ください。 

特注品製作依頼はこちら

セット内訳

A-52-ST□AWJYPPA シリコンウェハ用めっき実験装置セットWJ型(YPP電源用)

製品番号 製品名 数量

A-52-ST□-P01A

シリコンウェハ用水槽(アクリル製二重底タイプ) 1
A-52-ST□-P02A シリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準タイプ)(*1) 1
A-52-ST□-P09A シリコンウェハ用陽極ホルダー(アノードバック起毛付) (*2) 1
A-52-ST□-P04D パドル撹拌装置 1

B-90-A20-APFA05/
B-90-A40-APFWJ05

ミニミニフィルター20APFA型(2〜6inch用)

ミニミニフィルター40APFWJ型 (8inch用)

1
A-63-M202
B-92-M10-P04A

エアーポンプM202(AC100V)(2〜4inch)
10L 水槽用エアーポンプ (5〜8inch)

1
A-52-P18 エアーフィルター 1
A-52-ST2-P10WJ
B-85WJ
B-83WJB2
B-95-1A
ウェハ水槽用ヒーターWJ2型(2inch)
300W PFA被覆ヒーター   (AC100V)
300W石英小型投込ヒーターWJB型(5-6inch)
500W石英ヒーター(8inch) 
2
1
3
3
温度センサー、ヒーター用止具 1

(*1) オリフラ式/ノッチ式からお選びください。 密閉式/吸引密閉式もあります.
(*2) 不溶性陽極用には隔膜式もあります。
(*3) 製品番号の□印にはinch数が入ります。
(*)YPP電源用のセットです。電源・温度調節器・陽極板は別売です。電源はA-57-15031WA, A-57-15100WA, A-57-15101Dから別途ご指定ください。PCは別売です。

強撹拌仕様水槽(2面オーバーフロータイプで、約2倍の撹拌速度を実現

オーバーフローを1面から2面にすることで、パドル撹拌の速度が最大130rpmまで上がりました。液の撹拌効率が高まりより安定しためっきが可能になります。また、液ハネ防止構造を追加しました。

製品番号 製品名 数量

A-52-ST□-U

シリコンウェハ用水槽(アクリル製二重底タイプ) 1
  • 現在受注生産品です。サイズや仕様はお手数ですがお問い合わせください。
  • めっきの種類やサイズによって、3面オーバーフロータイプをご提案することがあります。

▼ウェハめっき装置の動画はこちら(標準装置とは異なります)

 

関連商品

  1. 水平式ウェハめっき装置

  2. A-53-ST01WB マイクロセル W 型シリコンウェハ用セットYTC300

  3. A-57-15100WA ウェハ用精密めっき用電源 YPP15100WA

    予測・計算機能が付いた高性能なプログラマブル電源です。最小分解能1mA で、日本語、英語、中国語に対応しています。

  4. ウェハ用陽極ホルダー

  5. スマートセル 500G(Model-500G)

    ポンプもヒーターも不要な500mLの小型水槽。高温やイオン液体対応のガラス製スマートセル。ホットスターラー兼用で400℃までの実験が可能です。

  6. シリコンウェハ用陰極カートリッジ【標準型高電流タイプ】

    ウェハめっき用の陰極カートリッジで、全面めっきで全電流を大きくしたい場合に適しています。4inchから8inchまで対応しています。

製品カテゴリ

  1. ハルセル
    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード
  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用
  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール
  7. 小型めっき装置
    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット
  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ
  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ
  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー
  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります
  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器
  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー
  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
ページ上部へ戻る