ウェハ用めっき装置, 電源
A-57-15031WA 超精密めっき用電源 YPP15031WA
特長
- 予測・計算機能が付いた最小分解能が 10μA の高性能なプログラマブル電源です。
- 日本語、英語、中国語に対応しています(*)。
- CEマーキングを実施しています。
機能
電源機能、温度調節機能、PC 制御、めっき実験予想(*)、データ収集解析(*)、拡張機能用スロット付き
(*)制御用ソフトPlate Laboratory ®が付属しています
用途
2〜4inch ウェハ半導体やセンサー、MEMS、微細バレル など
入力電圧 | AC100〜240V±10% (50/60Hz±5%) |
出力電圧/出力電流 | DC0 〜 15V, 0 〜 3A |
最小分解能 | 1mV , 10μA , 1μC |
温度調節機能 | AC100~240V 最大 1KVA (ON/OFF, PID 制御) |
外寸(設置寸法) | D396 × W260 × H221mm(突起部除く) |
本体重量 | 約10.4kg |
対応OS | Windows 8,10, 11対応 |
規格 | IEC61010-1,IEC61326-1,IEC61326-2-2,IEC61000-3-2, IEC61000-3-3,FCC Part 15 Subpart B |
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