ウェハ用めっき装置, 揺動装置
パドル撹拌装置(A-52-ST-P04D)
サンプルの近傍を撹拌する装置で、2~8inchサイズの片面めっきに対応しています。片面めっき用と両面めっき用の2 種類があります。
12inch 用は受注生産にて製作いたします。また、オプションとして、筐体を保護するPVC 板を取り付けることができます。
特長
- めっきの析出均一性が向上
パドルによりサンプル表面を効果的に撹拌します。拡散層が安定化によりめっきの析出均一性が向上がします。 - 穴形状のサンプルにも積極的にイオンを供給
ビア、スルーホールやトレンチのような穴形状のサンプルでは、撹拌による穴内部への積極的なイオン供給で濃度過電圧上昇を抑え、ボイド等欠陥のない良好な埋め込みが期待されます。 - 国際規格に適合
IEC61010-1に適合しており、EU・DUタイプとEW・DWタイプはCEマーキングを実施しておりEN61326-1にも適合しています。
仕様
サイズ | 2inchタイプ | 3,4inchタイプ | 5,6inchタイプ | 8inchタイプ |
---|---|---|---|---|
製品番号 | A-52-ST2-P04E | A-52-ST4-P04D | A-52-ST6-P04D | A-52-ST8-P04D |
水平ストローク | 30~50mm (*1) | 30~96mm | 30~150mm | |
外寸(設置寸法) | 210 (D)×180 (W)×275 (H) mm | 210 (D)×180 (W)×290 (H) mm | 290 (D)×270 (W)×380 (H) mm | 290 (D)×270 (W)×470 (H) mm |
本体重量(*2) | E : 6.0kg EU, EW:6.5kg | D : 6.0kg DU, DW:6.5kg | D:12.9kg DU,DW:13.4kg | D:13.4kg DU,DW:13.9kg |
回転数 | 0~130 RPM | |||
入力電圧(*2) | E: AC100-120V EU: AC100-120V EW: AC200-240V | D: AC100-120V / DU: AC100-120V / DW: AC200-240V |
||
定格出力 | 30W |
(*1) 部品追加により最大96mm
(*2) 入力電圧の違いにより、E・Dタイプ、EU・DUタイプ、EW・DWタイプの3種類あります。
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