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製品情報 (シリコンウェハ用陰極カートリッジ（両面対応）)
シリコンウェハ用陰極カートリッジ（両面対応）
サンプル両面に一度にめっきをするための治具です。標準用は接点にもめっき液が触れるため析出しますが、密閉型、吸引密閉型は開口部分のみめっきが析出します。
各治具はJEITA 規格を基にしております。SEMI 規格や規格外の厚さ、四角い形状などのサンプルへのめっきをご検討の場合はご相談ください。またこれらの治具は当社の両面めっき用水槽に合わせてお使いください。
仕様
| 製品番号 | タイプ | 対応サイズ | 材質 | 耐熱温度 | めっき膜厚 |
| A-52-STD□-P02A | 標準用 | 2～8inch | アクリル | 65℃ | 20μm未満 |
| A-52-STD□-P02B | 密閉型 | 2～3inch | アクリル | 65℃ | 薄膜〜厚膜 |
| A-52-STD□- P02C | 吸引密閉型 | 4～8inch | PPS | 80℃ | 薄膜〜厚膜 |
