ウェハ用めっき装置
シリコンウェハ用陰極カートリッジ【標準型高電流タイプ】
2023新製品 受注生産
特長
・一般的な厚さのウェハに適しています。(200μm 以上)
・高速めっき等、通常よりも高めの電流密度設定が可能。
・全面めっきで全電流を大きくしたい場合に適しています。
・電極リングの接点(面接点)にもめっきが析出します。
・定期的に接点部めっき皮膜の剥離が必要です。
※ウェハサイズハ、JEITA およびSEMI 規格に合わせて製作しております。角型タイプも製作いたします。
仕様
対応ウェハサイズ | 4~8inch |
ウェハの厚み | 200μm以上 |
めっき膜厚 | 20μm未満 |
耐熱温度 | 0〜65℃ |
材質 | アクリル SUS304他 |
商品番号
A-52-STH2-P02 | 2inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様) |
A-52-STH3-P02 | 3inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様/4inch水槽用) |
A-52-STH4-P02 | 4inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様) |
A-52-STH5-P02 | 5inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様/6inch水槽用) |
A-52-STH6-P02 | 6inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流/オリフラ仕様) |
A-52-STH6-P02N | 6inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流/ノッチ仕様) |
A-52-STH8-P02 | 8inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様) |
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