A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき装置

シリコンウェハ上や板状サンプルに無電解めっきを行う装置です。1枚~複数枚のウェハを回転させながら上下に揺動させてめっきします。
回転速度と上下揺動速度はそれぞれ調節できます。洗浄工程等めっき以外の用途にもお使いいただけます。

セミカスタマイズ製品なのでサンプル形状や大きさ、一度に処理したい枚数などをお知らせください。

*受注生産品
*詳細はお問い合わせ下さい

関連商品

  1. スマートセル® W型シリコンウェハ用組み合わせ例

    シリコンウェハのチップやバンプめっきなどの基礎実験に最適なめっき水槽のセットです。オーバーフロー循環を利用し安定した電流分布を実現。

  2. B-90-AVS-10 真空脱泡器AUVACS

  3. スマートセル 500G(Model-500G)

    ポンプもヒーターも不要な500mLの小型水槽。高温やイオン液体対応のガラス製スマートセル。ホットスターラー兼用で400℃までの実験が可能です。

  4. A-52 シリコンウェハ用めっき実験装置セット

    2~12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。 専用の治具を使用することで、半導体・MEMSの精密なめっきが行なえます。特注製作を強みとし、陽極酸化・アルマイト用治具などの装置の製作実績も多数ございます。

  5. 水平式ウェハめっき装置

  6. A-52-ST-P04D パドル撹拌装置

製品カテゴリ

  1. ハルセル
    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード
  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用
  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール
  7. 小型めっき装置
    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット
  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ
  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ
  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー
  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります
  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器
  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー
  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
ページ上部へ戻る