ウェハ用めっき装置
A-52-STD ウェハ用両面めっき装置
受注生産
TSV、TSGなどに適したウェハ用両面めっき装置
特長
・φ2 ~8inch または50 ~ 200mm 角の角型サンプルにめっき可能です。
・ウェハ両面を1 台のパドル撹拌装置にて撹拌します。
・CE マーキングにも対応します。
本製品は特注品となります。お客様の仕様に合わせて製作いたします。
セット例
カテゴリ | 製品名 | 個数 |
水槽 | ウェハ用両面めっき水槽 | 1 |
治具 | 両面めっき用陰極カートリッジ(標準タイプ/密閉型/吸引式密閉型) | 1 |
陽極ホルダー | 2 | |
ヒーター | ヒーターAC100V/100,300,500W | |
電源 | ウェハ用精密めっき電源(YPP15031WA/15100WA) | 1 |
エアーポンプ | エアーポンプ(M202/10L水槽用) | 1 |
パドル撹拌装置 | 両面めっき用パドル撹拌装置(AC100V,100-120V,200-240V) | 1 |
フィルター | ミニミニフィルター(20APFA/40APFA) | 1 |
リード線 | 1 | |
エアーフィルター | 1 |
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