シリコンウェハ用陰極カートリッジ【標準型高電流タイプ】

2023新製品  受注生産

特長

・一般的な厚さのウェハに適しています。(200μm 以上) 
・高速めっき等、通常よりも高めの電流密度設定が可能。
・全面めっきで全電流を大きくしたい場合に適しています。
・電極リングの接点(面接点)にもめっきが析出します。
・定期的に接点部めっき皮膜の剥離が必要です。
ウェハサイズハ、JEITA およびSEMI 規格に合わせて製作しております。角型タイプも製作いたします。

仕様

対応ウェハサイズ4~8inch
ウェハの厚み200μm以上
めっき膜厚20μm未満
耐熱温度0〜65℃
材質アクリル
SUS304他

商品番号

A-52-STH2-P02 2inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様)
A-52-STH3-P02 3inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様/4inch水槽用)
A-52-STH4-P02 4inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様)
A-52-STH5-P02 5inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様/6inch水槽用)
A-52-STH6-P02 6inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流/オリフラ仕様)
A-52-STH6-P02N 6inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流/ノッチ仕様)
A-52-STH8-P02 8inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様)

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製品カテゴリ

  1. ハルセル
    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード
  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用
  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール
  7. 小型めっき装置
    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット
  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ
  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ
  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー
  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります
  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器
  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー
  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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