シリコンウェハ用陰極カートリッジ【標準型高電流タイプ】

2023新製品　 受注生産

特長

・一般的な厚さのウェハに適しています。（200μm 以上） 
・高速めっき等、通常よりも高めの電流密度設定が可能。
・全面めっきで全電流を大きくしたい場合に適しています。
・電極リングの接点（面接点）にもめっきが析出します。
・定期的に接点部めっき皮膜の剥離が必要です。
※ウェハサイズハ、JEITA およびSEMI 規格に合わせて製作しております。角型タイプも製作いたします。

仕様

対応ウェハサイズ4～8inch
ウェハの厚み200μm以上
めっき膜厚20μm未満
耐熱温度0〜65℃
材質アクリル
SUS304他

商品番号

A-52-STH2-P02 2inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様）
A-52-STH3-P02 3inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様/4inch水槽用）
A-52-STH4-P02 4inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様）
A-52-STH5-P02 5inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様/6inch水槽用）
A-52-STH6-P02 6inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流/オリフラ仕様）
A-52-STH6-P02N 6inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流/ノッチ仕様）
A-52-STH8-P02 8inchシリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準型/高電流仕様）

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