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ウェハ用陽極板

ウェハ用水槽に合わせたサイズの陽極板です。
陽極ホルダーと合わせてご使用ください。
 

サイズ

ウェハサイズ 陽極サイズ(mm) 製品番号
2inch 60ｘ170ｘt2 A-52-ST2-P08
4inch 106×200ｘt2 A-52-ST4-P08
6inch 160×275ｘt2 A-52-ST6-P08
8inch 200×350ｘt2 A-52-ST8-P08
マイクロセルⅠ 59×95ｘt2 A-53-M1-P08
マイクロセルⅡ 74×105ｘt2 A-53-M2-P08
マイクロセルⅢ 94×140ｘt2 A-53-M3-P08
10×15 28×120ｘt2 A-53-M1-P81
30X30 44×145ｘt2 A-53-M3-P81
 

材質

製品番号(*1) 製品名
A-52-ST□-P08-02 住友電解ニッケル
A-52-ST□-P08-07 住友ＳＫニッケル
A-52-ST□-P08-08 含燐銅
A-52-ST□-P08-10 無酸素銅（電気銅）
A-52-ST□-P08-12 高純度錫（三菱電解錫）
A-52-ST□-P08-18 チタン白金
A-52-ST□-P08-28 チタンイリジウム（硫酸銅用）
A-52-ST□P08-28-2 チタンイリジウム（金・3価クロム他用）
(*1) □にはウェハサイズが入ります。
(*2) 他の材質の陽極板も製作できます。お問い合わせください。
 

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製品カテゴリ

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  2. 応力測定器
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  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード

  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター

  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用

  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール

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  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ

  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ

  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー

  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります

  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器

  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー

  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等

  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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