ウェハ用めっき装置, 水槽
A-52-ST-P01A シリコンウェハ用水槽
2~12inchシリコンウェハ用のめっきに適した水槽です。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造です。
片面めっき用のサイズで、アクリルとPP製の2種類ございます。両面めっき用はA-52-STD ウェハ用両面めっき装置をご覧ください。
仕様
製品番号 | ウェハサイズ | 寸法(内寸)mm | 水槽容量 | 材質 | 耐熱温度 |
---|---|---|---|---|---|
A-52-ST2-P01A | 2inch | D100×W100×H100 | 約1.5L | アクリル | 65℃ |
A-52-ST4-P01A | 4inch | D140×W140×H140 | 約4.0L | アクリル | 65℃ |
A-52-ST6-P01BW | 6inch | D210×W210×H210 | 約13L | アクリル | 65℃ |
A-52-ST8-P01BW | 8inch | D280×W280×H280 | 約28L | アクリル | 65℃ |
A-52-ST12-P01A | 12inch | D230×W386×H420 | 約47L | アクリル | 65℃ |
A-52-ST2-P01A-1 | 2inch | D100×W100×H100 | 約1.5L | PP | 80℃ |
A-52-ST4-P01A-1 | 4inch | D140×W140×H140 | 約4.0L | PP | 80℃ |
A-52-ST6-P01BW1 | 6inch | D210×W210×H210 | 約13L | PP | 80℃ |
A-52-ST8-P01BW1 | 8inch | D280×W280×H280 | 約28L | PP | 80℃ |
A-52-ST12-P01A1 | 12inch | D230×W386×H420 | 約47L | PP | 80℃ |
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