ウェハ用めっき装置
A-52-STD ウェハ用両面めっき装置
受注生産
TSV、TSGなどに適したウェハ用両面めっき装置
特長
・φ2 ~8inch または50 ~ 200mm 角の角型サンプルにめっき可能です。
・ウェハ両面を1 台のパドル撹拌装置にて撹拌します。
・CE マーキングにも対応します。
本製品は特注品となります。お客様の仕様に合わせて製作いたします。
セット例
カテゴリ | 製品名 | 個数 |
水槽 | ウェハ用両面めっき水槽 | 1 |
治具 | 両面めっき用陰極カートリッジ(標準タイプ/密閉型/吸引式密閉型) | 1 |
陽極ホルダー | 2 | |
ヒーター | ヒーターAC100V/100,300,500W | |
電源 | ウェハ用精密めっき電源(YPP15031WA/15100WA) | 1 |
エアーポンプ | エアーポンプ(M202/10L水槽用) | 1 |
パドル撹拌装置 | 両面めっき用パドル撹拌装置(AC100V,100-120V,200-240V) | 1 |
フィルター | ミニミニフィルター(20APFA/40APFA) | 1 |
リード線 | 1 | |
エアーフィルター | 1 |
関連商品
-
A-57-15031WA 超精密めっき用電源 YPP15031WA
予測・計算機能が付いた高性能なプログラマブル電源です。最小分解能10μAで日本語、英語、中国語に対応しています。
-
ウェハ用陽極板
-
A-52 シリコンウェハ用めっき実験装置セット
2~12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。 専用の治具を使用することで、半導体・MEMSの精密なめっきが行なえます。特注製作を強みとし、陽極酸化・アルマイト用治具などの装置の製作実績も多数ございます。
-
水平式ウェハめっき装置
-
パドル撹拌装置(A-52-ST-P04D)
めっき用揺動装置で、ウェハ水槽に対応したサイズです。サンプルの近傍を撹拌することで、めっきの析出均一性が向上します。
-
シリコンウェハ用陰極カートリッジ【標準型高電流タイプ】
ウェハめっき用の陰極カートリッジで、全面めっきで全電流を大きくしたい場合に適しています。4inchから8inchまで対応しています。