PRODUCTS
製品情報 (A-52-ST-LAAS-SO 強撹拌仕様ウェハ用めっき実験装置 [LAAS共同開発タイプ])
この製品は、フランス国立研究所LAASと共同開発したタイプです。従来のウェハめっき装置を改良して、撹拌速度を速くしても液こぼれしにくい構造に設計しました。LAASには、この製品を使用した各種技術データ・研究成果があります。製品構成は従来品に準拠していますが詳細についてはお問合せください。
