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製品情報 (A-52 シリコンウェハ用めっき実験装置 (AC100-120,230V))
シリコンウェハやガラス基板、セラミック基板、特殊素材、フィルム上などへ精密なめっきが行え、半導体やMEMS、LIGA、各種センサー、太陽光発電、航空宇宙産業、化学工業そして各種原材料等の研究および少量生産装置として数多く実績があります。
CE、UKCAに対応した製品など世界各国向けにご用意しております。
特長
- 水槽は常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造です。
- 従来より使用されている1面オーバーフロータイプと、高速撹拌が可能になった2面オーバーフロータイプがあります。直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。
- 生産設備としてもご利用いただけます。
基板素材
シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス、GaAs、InP等の素材の基板へもお使いいただけます。
特注製作について
標準装置をベースに、お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具へカスタマイズできます。
また、陽極酸化・アルマイト用治具などの装置の製作実績もございます。
治具の種類も、完全密閉型、非密閉型治具、水平式等がありますので、お問い合わせフォームよりぜひご相談ください。
組み合わせ例 (AC100-120V)
| 製品番号 | 製品名 | 数量 |
| A-52-ST□-P01A | シリコンウェハ用水槽(アクリル製二重底タイプ) | 1 |
| A-52-ST□-P02A | シリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準タイプ)(*1) | 1 |
| A-52-ST□-P09A | シリコンウェハ用陽極ホルダー(アノードバック起毛付) (*2) | 1 |
| A-52-ST□-P04DU | パドル撹拌装置 | 1 |
| B-90-A20-APFU05 | ミニミニフィルター20APFU型(2〜6inch用) | 1 |
| B-90-A40-APFU05 | ミニミニフィルター40APFU型 (8inch用) | |
| A-52-ST2-P10W B-85W B-86MW400 B-86MW700-PTFE | ウェハ水槽用ヒーターW2型(2inch) 300W PFA被覆ヒーター (DC48V)(3-4inch) 400W磁器ヒーター(AC230V)(6-8inch) 700WPTFE被覆ヒーター(AC230V)(6-8inch) (*)水槽サイズに合わせいずれかを選ぶ | 2 1 3 3 |
| A-60W-L100/L170 | 液面センサーw(首下100mm/4inch)/(首下170mm/6-8inch) | 1 |
| B-93-YTC-1KLA-U | 温度調節器YTC-1KL(1kW) (*3) | 1 |
| B-93-YTC300-U | 温度調節器YTC300(300W) (*3) | |
| A-57-15100WA-U | ウェハ用精密めっき用電源 YPP15100WA (*4) | |
| A-57-15031WA-U | 超精密めっき用電源 YPP15031WA (*4) | |
| A-52-ST□-P08 | シリコンウェハ用陽極板 | 1 |
| A-52-P18 | エアーフィルター | 1 |
| – | ヒーター用止具 | 1 |
* 製品番号の□印にはinch数が入ります。
(*1) オリフラ式/ノッチ式からお選びください。 密閉式/吸引密閉式もあります。
(*2) 不溶性陽極用には隔膜式もあります。
(*3)ヒーターに合わせお選びください。別途電源・リード線(A-57-15100-P01A等)が必要となります。
(*4)精密めっき用電源 YPP15100WA、YPP15031WAは温度調節機能付属です。そのため基本的には温度調節器は不要ですが、出力数などによっては電源の他に温度調節器が必要ば場合もあります。
組み合わせ例 (AC230V) CE,UKCA対応
| 製品番号 | 製品名 | 数量 |
| A-52-ST□-P01A | シリコンウェハ用水槽(アクリル製二重底タイプ) | 1 |
| A-52-ST□-P02A | シリコンウェハ用陰極カートリッジ(標準タイプ)(*1) | 1 |
| A-52-ST□-P09A | シリコンウェハ用陽極ホルダー(アノードバック起毛付) (*2) | 1 |
| A-52-ST□-P04DW | パドル撹拌装置 | 1 |
| B-90-A20-APFW05 | ミニミニフィルター20APFW型(2〜6inch用) | 1 |
| B-90-A40-APFW05 | ミニミニフィルター40APFW型 (8inch用) | |
| A-52-ST2-P10W B-85W B-86MW400 B-86MW700-PTFE | ウェハ水槽用ヒーターW2型(2inch) 300W PFA被覆ヒーター (DC48V)(3-4inch) 400W磁器ヒーター(AC230V)(6-8inch) 700WPTFE被覆ヒーター(AC230V)(6-8inch) (*)水槽サイズに合わせいずれかを選ぶ | 2 1 3 3 |
| A-60W-L100/L170 | 液面センサーw(首下100mm/4inch)/(首下170mm/6-8inch) | 1 |
| B-93-YTC-1KLA-W | 温度調節器YTC-1KL(1kW) (*3) | 1 |
| B-93-YTC300-W | 温度調節器YTC300(300W) (*3) | |
| A-57-15100WA-E | ウェハ用精密めっき用電源 YPP15100WA (*4) | |
| A-57-15031WA-E | 超精密めっき用電源 YPP15031WA (*4) | |
| A-52-ST□-P08 | シリコンウェハ用陽極板 | 1 |
| A-52-P18 | エアーフィルター | 1 |
| – | ヒーター用止具 | 1 |
* 製品番号の□印にはinch数が入ります。
(*1) オリフラ式/ノッチ式からお選びください。 密閉式/吸引密閉式もあります。
(*2) 不溶性陽極用には隔膜式もあります。
(*3)ヒーターに合わせお選びください。別途電源・リード線(A-57-15100-P01A等)が必要となります。
(*4)精密めっき用電源 YPP15100WA、YPP15031WAは温度調節機能付属です。そのため基本的には温度調節器は不要ですが、出力数などによっては電源の他に温度調節器が必要ば場合もあります。
関連製品
| 製品番号 | 製品名 |
| A-52-STS□-UU/UW | シリコンウェハ用めっき実験装置 [強撹拌タイプ] (AC100-120,230V) |
| A-52-STD□-UU/UW | ウェハ用両面めっき装置 (AC100-120,230V) |