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製品情報 (A-52-WF-ST ウェハ用無電解めっき装置)
写真は無電解ニッケル用のウェハめっき装置で水槽の材質はSUS316になります。ウェハを２D揺動させる構造です（3D揺動タイプもあります）。液の撹拌が良好で温度分布に優れています。写真は無電解ニッケル用ですが、ニッケル以外の場合は水槽等の材質が変わります。水槽のサイズや治具の特注品対応も行っています。
仕様一例
| 水槽 (内寸) | 200（D）×370（W）×320（H）mm |
| 水槽材質 | SUS316（ホースニップルはSUS304） |
| 揺動ストローク | 上下左右 0〜30mm |
| 揺動スピード | 0〜100mm/min |
| 最大積載重量 | 1.5kg |
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