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製品情報 (A-52-ST-P08/A-53-M-P08/A-53-M-P81 ウェハ用陽極板)
A-52-ST-P08/A-53-M-P08/A-53-M-P81 ウェハ用陽極板
ウェハ用水槽に合わせたサイズの陽極板です。
陽極ホルダーと合わせてご使用ください。
サイズ
| 陽極サイズ(mm) | 製品番号 | ||
| 2inch水槽用 | 60ｘ170ｘt2 | A-52-ST2-P08 | ※実際の製品番号は左番号-枝番号(材質)となります 【例】含燐銅2inch水槽サイズ：A-52-ST2-P08-08 |
| 4inch水槽用 | 106×200ｘt2 | A-52-ST4-P08 | |
| 6inch水槽用 | 160×275ｘt2 | A-52-ST6-P08 | |
| 8inch水槽用 | 200×350ｘt2 | A-52-ST8-P08 | |
| マイクロセル(Ⅰ)用 | 59×95ｘt2 | A-53-M1-P08 | |
| マイクロセル(Ⅱ)用 | 74×105ｘt2 | A-53-M2-P08 | |
| マイクロセル(Ⅲ)用 | 94×140ｘt2 | A-53-M3-P08 | |
| 10×15mmウェハ用 | 28×120ｘt2 | A-53-M1-P81 | |
| 30X30mmウェハ用 | 44×145ｘt2 | A-53-M3-P81 | |
材質
| 枝番号 | 製品名 |
| -02 | 住友電解ニッケル |
| -07 | 住友ＳＫニッケル |
| -08 | 含燐銅 |
| -10 | 無酸素銅（電気銅） |
| -12 | 高純度錫（三菱電解錫） |
| -15 | カーボン（t3mm） |
| -18 | チタン白金 |
| -28 | チタンイリジウム（硫酸銅用） |
| -28-2 | チタンイリジウム（金・3価クロム他用） |
（＊） 上記以外のサイズ、材質の陽極板も製作できます。お問い合わせください。
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（＊）□には1,2,3のいずれかが入ります。
（＊）マイクロセル用以外の上記陽極は基本的に陽極フォルダーに設置し、アノードバックはそのフォルダーごと覆うサイズになります。詳細はウェハ用陽極ホルダーページをご確認ください。
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