製品情報 (B-90-AVS-20A/20W 密閉用減圧装置 AUVACS(漏液検出機能付))

ウェハ

B-90-AVS-20A/20W 密閉用減圧装置 AUVACS(漏液検出機能付)

空気を吸引することで減圧状態を作ります。シリコンウェハ用陰極カートリッジ（吸引密閉型）と組み合わせてお使いいただけます。また、液漏れセンサー付きですので、万が一液を吸い込むことがあっても自動的に停止します。