製品情報 (A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき回転装置)

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特注品

A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき回転装置

シリコンウェハ上に無電解めっきを行う際の回転揺動装置です。1度に1枚～複数枚のウェハを回転できます。更に特注対応の上下揺動装置と併用すると効果的です。
ウェハを回転することにより、めっき中に発生する水素ガスやウェハ面内の温度分布の影響を軽減し、より安定しためっきができます。回転速度の調整ができます。ご希望のサイズや処理枚数に応じて製作する受注生産品です。浴槽の大きさに合わせて作ること可能ですのでご相談ください。

仕様

ドラム回転数	5-34rpm
素材	PP 他
外寸（設置寸法）	108(D)×172(W)×396(H)mm
ウェハサイズ	4/6 inch 兼用(*1)
処理枚数	1-10
本体重量	2.5kg
耐熱温度	90℃
入力電圧	AC100V-240V