シリコンウェハ用の陽極ホルダーです。標準型および密閉型にはアノードバックが付属します。
可溶性陽極をご使用の場合は標準タイプ、不溶性陽極の場合は隔膜式をご使用ください。
アクリルは耐熱温度65℃までPPS 製は80℃までご使用いただけます。

特長

• 湿式のめっきを想定したシリコンウェハ用めっき実験装置専用の陽極治具です。
• 半導体・MEMS・陽極酸化など精密なめっきが行えます。
• 2～12inchサイズ実験用、少量生産用に最適です。
• 前面の陽極ホルダー押さえを付け替えることで、小さいサイズのウェハも兼用して使用できます。

仕様

使用する陰極カートリッジのタイプに合わせてお選びください。6inch以上はオリフラ式とノッチ式から形状をご指定ください。

ウェハ水槽用

＊ 製品番号の□印にはinch数が入ります。
＊ 製品番号後ろがNがつくものはノッチタイプ用となります（例 A-52-ST6-P09A:6inchオリフラ式/A-52-ST6-P09N:6inchノッチ式）

マイクロセル/スマートセル用

＊□には1,2,3のいずれかが入ります。
＊ブスバー、アノードバックは別売品となります。別途お選びください。

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